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纯水主要应用于各种电子产品的清洗，纯水的使用可以避免水中杂质对电子产品的污染。应用于电子厂房的纯水的主要特点不只是水的电阻率高，还对颗粒度、总有机碳（TOC）、总硅、溶解氧（DO）、以及各种离子的含量有不同的要求。工艺冷却水管道的选择，半导体、TFT-LCD等行业的工艺冷却水系统为避免工艺设备冷却盘管的结垢及堵塞，对工艺冷却水水质提出了要求。

塑料管道，根据工艺冷却水的水质要求，PVC管道即可满足要求。常用的PVC有两种，硬质聚（PVC-U）由聚乙烯单体聚合而成的一种热塑性高分子化合物；氯化聚（PVC-C）由聚树脂氯化得到的一种独特的聚合物。由于PVC管道有较强的耐腐蚀性，故而即使水质呈弱酸、弱碱性，也不会造成管道的腐蚀。但塑料管道需注意工作压力的问题，由于工艺设备内的冷却管道管径小而造成了较大的水头损失。

很多管道本身抗腐蚀性没有问题，但管道接口处理不好容易造成接口处的腐蚀。比如，钢衬不锈钢管道，接口不能保证水不与非不锈钢部分的完全隔离；钢衬塑管道、钢涂塑管道，无论是丝扣连接、卡环连接、沟槽连接还是法兰连接均不能保证外层金属与水的完全隔离。纯水管道的选择，电子超纯水通常为电阻率gt;15 MΩ·cm（25℃）的纯水，而此时电阻率已经不是重要的因素，需根据其他指标的要求进行具体分析。